대학혁신지원사업
2022학년도 나노 Fab 공정교육
1. 일시 : 2022년 8월 3일(수) ~ 5일(금)
2. 장소 : 부산대학교 밀양캠퍼스 나노 Fab실험실
3. 교육 내용
가. 이론: LED 소자공정 및 효율향상 기술, 조현 교수
나. 실습
- LED chip isolation
- MESA 구조 형성 및 n-GaN ohmic 전극층 증착
- p-GaN layer TCO 전극층 형성
- p-GaN ohmic 전극층 형성 및 발광특성 조사
4. 이수자: 나노메카트로닉스공학과 재학생 24명